微纳器件及系统研究中心

微纳器件及系统研究中心紧密围绕国家在海洋感知、空天地海一体化网络等领域 的重大战略需求，聚焦微纳声光器件、微纳能源技术和微纳机电系统三大核心方 向，构建了覆盖设计、制造、封测到系统应用的全链条创新体系。中心以高深宽 比、多材料兼容、可异质异构集成的MEMS与CMOS融合工艺为技术基础，贯通智 能网联汽车、光通信、航空航天、物联网、智慧医疗等关键领域，依托仪器科学与 技术、电子科学与技术、光学工程、材料科学与工程以及人工智能等多学科交叉 优势，承担国家重大科技专项及产业联合攻关任务，系统突破高端光芯片设计、 特种电路抗辐照加固、智能微系统集成与先进封装等核心技术。中心致力于打造 集前沿技术探索、专用芯片定制与成果高效转化为一体的协同创新平台，持续赋 能新一代信息技术、高端装备制造等战略性新兴产业，有力支撑我国芯片技术实 现高水平自立自强，推动产业实现高质量发展。